CKD喜開理工藝氣體減壓閥PGM-H-60-4R的技術參數

更新時間：2026/1/26

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CKD喜開理PGM-H-60-4R屬于PGM系列工藝氣體用減壓閥，主打高密封性、高耐久與精準流量控制特性，適配蝕刻、成膜等精密工藝場景。該型號通過金屬膜片與自由提升結構設計，可實現穩定壓力調節，同時防止流體流出，以下為其核心技術參數，全面覆蓋介質適配、壓力溫度耐受、密封性能及結構特性。

型號編碼對應核心配置：“PGM"為系列基礎標識，“H"代表50L/min(ANR)流量系列，適配中流量工藝氣體傳輸需求；“60"對應二次側設定壓力范圍0~0.42MPa，可滿足多數工藝氣體的壓力調節需求；“4R"代表1/4″JXR母接頭，采用標準化接口設計，便于與工藝管路適配。

適配流體涵蓋惰性氣體及各類工藝氣體，兼容聚醚多元醇（PAG）等常用工藝潤滑劑，可直接融入現有工藝氣體回路，無需額外改造管路或配套部件。產品經電解研磨、超精密加工及清洗處理，接觸氣體部潔凈度達標，適配對介質潔凈度要求嚴苛的精密制程場景。

二次側設定壓力范圍為0~0.42MPa，支持根據工藝需求精準調節輸出壓力，調節精度契合精密工藝對壓力穩定性的要求，可減少壓力波動對工藝效果的影響。使用壓力為1.0MPa，耐壓力達1.5MPa，能應對工藝氣體回路正常運行及壓力波動場景，為回路運行提供冗余保障。

壓力控制采用金屬膜片傳感結構，膜片材質為HASTELLOY®C-22，具備優異的耐腐蝕性與壓力感知靈敏度，可快速響應壓力變化并調整閥芯開度，維持輸出壓力穩定。壓力遲滯表現良好，調節過程中壓力切換平滑，無明顯波動。

流體溫度與環境溫度均支持-5~40℃區間穩定運行，可應對精密制程車間的溫度變化，密封性能與壓力調節精度不受明顯影響。保存環境溫度需控制在-5~60℃，避免溫濕度導致材質老化，尤其需避開高溫高濕環境，防止密封件變質影響性能。

溫度適應性設計貼合工藝場景需求，核心部件材質在耐受溫度范圍內可保持結構穩定性，金屬膜片與密封件無明顯熱脹冷縮變形，確保壓力調節性能穩定。

密封性能優異，閥座泄漏（He）控制在1.0×10??Pa·m3/s以下，外部泄漏（He）不超過2.8×10?12Pa·m3/s，有效抑制閥閉動作時的二次側泄漏，避免工藝氣體損耗與環境影響。閥座常規采用PFA材質，具備良好的化學穩定性，可適配多種工藝氣體，避免介質與密封材料發生反應。

流量性能對應50L/min(ANR)流量系列，Cv值適配該流量等級需求，流路設計優化，壓降控制在合理范圍，可滿足中流量工藝氣體的穩定傳輸。流量特性隨一次側壓力變化平緩，建議在流量特性傾斜緩慢的范圍內使用，保障流量穩定性。

主體材質采用SUS316L不銹鋼，具備優異的耐腐蝕性，可抵御工藝氣體長期侵蝕，延長使用壽命。彈簧采用SUS316與Ni-Co合金組合，兼顧彈性性能與耐腐蝕性，確保閥芯復位順暢與壓力調節穩定性。

接口為1/4″JXR母接頭，可與VCR接頭兼容，適配行業標準化配管需求，降低系統裝配與升級的適配成本。產品重量約0.5kg，結構緊湊，適配單體配管安裝場景，可靈活集成于工藝氣體系統中。實測耐久性達300萬次以上，長期使用后仍能保持高控制性與高潔凈度。

PGM-H-60-4R的技術參數精準貼合中流量精密工藝氣體回路需求，通過穩定的壓力調節、優異的密封性能及耐腐材質選型，適配蝕刻、成膜等嚴苛場景。標準化接口與緊湊結構便于系統集成，高耐久性設計可降低長期使用成本，為工藝氣體系統提供精準、可靠的壓力控制支撐。

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